主要特色：相容于混合式 PXI四象限輸出高精密/量測解析度(多重檔位)低雜訊輸出高速量測 (100k s/S)高輸出轉(zhuǎn)換率 (Slew Rate)可存取之量測記錄檔DIO 觸發(fā)位元硬體序列引擎-輸出可程式化可編程阻抗輸出浮接 & 護衛(wèi) (Guarding) 輸出16 組頻寬選擇主從控制模式LabView / LabWindows & C/C# API 驅(qū)動程式軟體控制面板，chroma 52400 series 高精準電源量測單元

Applications半導體測試LED / LD 測試電池測試電晶體量測太陽能電池測試電動車測試航太電子測試電力電子測試感應器測試52400系列電源量測單元 ( SMU， Source Measurement Unit) 為相容于混合式 PXI 模組設(shè)計，可安裝于PXI或 PXIe機箱。52400 SMU 是一款可進行高精密電壓/電流供應源或負載模擬，同時又可精確量測電流/電壓值之綜合高精密儀器設(shè)備。52400 系列電源量測單元具備四象限輸出功能，不單精確且具備高速量測性能。這些特性使得52400 系列適合進行精確的參數(shù)量測，應用范圍包含 ICs、發(fā)光二極體 (LEDs)、雷射二極體 (Laser Diodes)、電晶體 (Transistors)、太陽能電池 (Solar cells)、鋰電池 (Batteries) 以及其他半導體元件。為符合各種量測條件，52400系列電源量測單元提供16段頻寬控制供使用者選擇穩(wěn)定的控制回路。多重檔位加上18-bit DAC/ADC 提供佳程式、量測解析度，取樣頻率 (Sampling Rate) 達到100k s/S，特殊可編程輸出阻抗可提供使用者設(shè)定電池內(nèi)部串聯(lián)電阻，此特性讓52400 系列電源量測單元成為理想的電池模擬器。標準6線式 (±force, ±sense 與 ±guards ) 接線，專門針對行動裝置 IC 與感應器測試等類型之低電流量測應用，可防止任何泄漏電流 (Leakage Current) ，并降低量測時間 (Settling Time)， 大幅提高量測精度及速度。52400 系列電源量測單元內(nèi)建硬體時序引擎， 使用時序 (deterministic timing) 控制每個電源量測單元，即使未與電腦連接使用，量測程序仍可正常執(zhí)行；時序引擎內(nèi)建 32k 讀值儲存記憶體，可同步化進行數(shù)個模組卡片的量測程序，并確保無任何輸出及量測之時間延遲。52400 系列電源量測單元提供 C/C# 與 LabView /LabWindows 應用程式介面 (APIs) 及軟體控制面板，加上模組卡背面的接頭，相容于PXI 與 PXIe機箱，提供客戶工業(yè)標準規(guī)格 PXI 或 PXIe 進行系統(tǒng)整合，執(zhí)行各種測試應用。四象限輸出52400 系列電源量測單元皆設(shè)計為四象限輸出操作 (Four-Quadrant operation) ，可供應電壓/電流源或模擬負載 (Load Simulation)，當模擬負載時[Sink Mode ; II、Ⅳ 象限]，PXI機箱對于每個插槽有 20W的標準散熱限制，而對高功率模組，此散熱限制則會造成不對稱之象限輸出范圍。下列圖示分別為52400系列 電源量測單元四象限輸出圖示:FOUR QUADRANT OPERATION 控制頻寬選擇為縮短測試時間，52400 系列電源量測單元皆設(shè)計為快速反 應、高速電壓與電流輸出。然而，待測物 (DUT) 的阻抗、治 具或電源線都有可能成為整個控制回路在電壓或電流輸出模 式下不穩(wěn)定的潛在因素。一個不穩(wěn)定的控制回路可能造成過 飽和震蕩，甚至損壞待測物。因此，使用者可能需要在測試 治具中增加電容器，讓系統(tǒng)重新獲得穩(wěn)定。52400系列電源量測單元提供使用者 16 個控制頻寬選擇，此 功能可免去對待測物的控制電路增加電容之困擾。此設(shè)定可 做為測試程式參數(shù)的一部分，頻寬選項的選擇也可隨待測物 做相對改變。 SMU Output Waveform under Different Control Scene 硬體時序引擎52400系列電源量測單元硬體序列引擎是一功能強大工具，此工具 可以預先設(shè)定程式指令，讓儀器按步驟執(zhí)行指令，即使未與電腦連 接使用，量測程序仍可執(zhí)行，同時確保輸出及量測上無任何時間延 遲。以半導體測試為例，量測速度與時序控制非常重要，此時使用 時序引擎功能即可達到佳測試效能。此模式中，一旦儀器接收到觸發(fā)訊號，硬體將逐行執(zhí)行在時序表中 的指令，右圖為軟體控制面板中之時序引擎設(shè)定螢幕畫面。chroma 52400 series 高精準電源量測單元

低電流量測技術(shù)護衛(wèi)輸出 (Guarding) 的應用在低電流 (< 奈安) 量測時是一項很重要的技術(shù)。護衛(wèi)輸出可以避免漏電流的問題，并降低量測穩(wěn)定時間，此輸出可保 持與主輸出 (Force) 為同電位，如此在護衛(wèi)輸出與主輸出間不會有電流產(chǎn)生。護衛(wèi)輸出同時也消除了電源量測單元與待測體之間導線的電容，使得 量測變得快速且精準。GUARDING FOR LOW CURRENT APPLICATION 主從控制模式52400 系列電源量測單元支援主從輸出模式 (Master/Slave operation) ， 在供電壓-測電流 (FVMI) 模式下，需要較高電流時，可發(fā)揮佳彈性化 應用，為達到模組間電流共享目的，52400 系列電源量測單元可支援 類似型號的通道并聯(lián)，形成較高電流/功率輸出。電流共享是將其中一通道在供電壓-測電流 (FVMI) 模式下設(shè)為主控單元 (Master)，其他通道則需設(shè)為供電流-測電壓 (FIMV) 模式，主控單元的 輸出電壓值設(shè)為量測應用需要的電壓值，而其電流值為其他單元在供 電流-測電壓模式下之設(shè)定電流。右圖為在主從控制控模式下，單元并聯(lián) 方式的示意圖。 MASTER/SLAVE OPERATION 軟體控制面板當52400 系列電源量測單元標準配件中提供軟體控制面板 (Soft Front Panel) 讓使用者執(zhí)行驗證測試與除錯功能。此軟體控制面 板具有圖形使用者介面 (GUI)，方便使用者設(shè)定輸出模式、范圍 與輸出值；同時，量測到的電壓或電流讀值將顯示在畫面上供使 用者讀取，52400 系列軟體控制面板亦可同時控制兩個通道的輸 出與量測值。52400 系列軟體控制面板同時包含硬體序列引擎的設(shè)定功能，在 上一頁中有詳述，使用者可儲存多個預先定義好的程式指令于電 腦中，日后即可依照這些程式指令做為多種變化的測試應用。 VERSATILE SOFT FRONT PANEL 應用范例半導體測試應用中的電池模擬裝置電源 (Device Power Supply; DPS) 可提供電壓用以驅(qū)動半導體 IC。隨著行動通訊的普及，裝置電源可以來自 AC/DC 配接器或鋰電池，測試電源 管理裝置需要動態(tài)范圍，不論ICs 的峰值電流或微小電流，52400 系列電源量測單元均可在各種情況下，精準的提供或量測電流，因此，在輸 入電流動態(tài)范圍下，不僅需要快速，同時更需要精確的量測。為符合此需求，52400 系列電源量測單元提供了10 個電流量測 檔位，以及 100k s/S 的取樣頻率，確保瞬間 (burst) 電流及穩(wěn)態(tài) (quasi-state) 電流高速且精確之量測。電池模擬應用中，52400 系列電源量測單元提供的阻抗特性，可 產(chǎn)生真實電池應用中由電池內(nèi)部的阻抗所造成的電壓瞬時跌落 (Voltage Dip)。當待測物 (DUT) 被量測的電壓值呈現(xiàn)階梯波的輸出 形式，此現(xiàn)象是明顯的證據(jù)。 DPS & Battery Simulation for Semiconductor Test電晶體量測I-V (電流-電壓) 特性曲線可做為場效電晶體量測的關(guān)鍵性指標。 I-V 特性曲線的量測包括閘極泄漏 (Gate leakage)、崩潰電壓 ( Breakdown voltage) 與汲極電流 (Drain current) 等。為確保正確 的量測結(jié)果，各項量測參數(shù)需同時取得， 透過52400系列電源量 測單元同步量測功能，可供使用者快速且精確量測到這些重要參 數(shù)。如右圖所示，52400 系列電源量測單元通道 1 的輸出端 Force Hi (+Force) 連接到 MOSFET 的閘極，電源量測單元通道 2 的輸出端 +Force 則連接到 MOSFET 的汲極。MOSFET 的源極則與電源量測 單元通道 1 與通道 2 的 Force Lo (-Force) 端點連接。改變各通道 之電流與電壓的輸出值，即可掃描繪出待測物之各項 I-V 特性曲 線圖。發(fā)光二極體/雷射二極體量測諸如發(fā)光二極體 (LED) 或雷射二極體 (Laser Diode) 等之發(fā)光元件，需要電流/電壓源、負載、光功率量測，當執(zhí)行 LIV (Light-Current-Voltage) 參數(shù)量 測與量測二極體的反向特性，52400 系列電源量測單元可程式化為電流源模式，用以驅(qū)動待測物，進行正向特性量測，也可設(shè)成電壓源模式，進 行反向特性量測。進行光輸出功率量測時需要另一電源量測單元通道。光電二極體 (Photo Diode) 通常用來當作光輸出功率的感應接收器，光功率與光 電二極體的短路電流 (Short Circuit Current) 成正比關(guān)系，若無法加 偏壓至光電二極體使其成為零伏，量測精確度將受影響， 因為正向 偏壓會讓光二極體產(chǎn)生較高溫度，此影響更甚于短路電流；52400 系列另一重要特性在于可以偏壓至負電壓以補償導線所造成的電壓 降，相較于使用分流電阻進行電流量測造成偏壓，52400 系列電源 量測單元可確保量測到光電二極體之真實短路電流。52400 系列電源量測單元雙輸入通道設(shè)計及同步量測功能可取得所 有量測參數(shù)，如有多個待測物需同時進行平行測試，52400 系列電 源量測單元之小型 PXI 設(shè)計可提供高之通道密度。 Typical LIV test setup for LEDLED/Laser Diode Test 太陽能電池量測太陽能電池的基本結(jié)構(gòu)仍屬二極體結(jié)構(gòu)，因此 I-V 特性曲線是其關(guān)鍵特性。利用照光時的I-V特性曲線，可用來導出許多重要的太陽能電池的參 數(shù)，反向電壓可用來進行反向太陽能電池性能的測試，不同于一般二極體的測試，分流電阻 (Shunt Resistor) 與串聯(lián)電阻是太陽能電池的重要性能 指數(shù)。52400 系列電源量測單元具有可操作于照光時的正向偏壓負載及反向偏壓輸出特性， 此四象限輸出特性使得電源量測單元成為理想的太陽能電池 測試儀器。一般太陽光模擬器之輻射光強會有瞬態(tài)的不穩(wěn)定，使用輻射光監(jiān)視器 (Irradiance Monitor) 連接 52400 系列電源量測單元的單一通道，依照 IEC-60904-1 所定義方式來修正太陽能電池的光電流讀值至 1 sun (100mW/m2) 標準光強狀態(tài)，透過電源量測單元提供電壓與電流，進行在同一通道 內(nèi)與跨通道間的同步量測，可取得精準可靠之測試結(jié)果。

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